判斷題勻膠的關(guān)鍵是控制膠膜的厚度與膜厚的均勻性。膠膜的厚度決定于膠的粘度和旋轉(zhuǎn)速度。
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4.多項選擇題NIKON硅片對準(zhǔn)系統(tǒng)對對準(zhǔn)精度的影響較大，有三種對位方式（）。
A.WGA
B.EGA
C.LSA
D.FIA
5.多項選擇題對準(zhǔn)與曝光關(guān)鍵工藝參數(shù)（）。
A.對準(zhǔn)OVERLAY
B.分辨率
C.焦深或景深
6.多項選擇題光刻工藝中影響分辨率的因素有（）。
A.顯影液
B.曝光方式
C.光刻膠本身
D.光源
7.多項選擇題對光刻膠的需求包括（）。
A.高分辨率
B.高抗蝕性
C.好黏附性
D.更寬的工藝容差
8.多項選擇題光刻膠通常有三種成分：（）。
A.感光化合物
B.水
C.溶劑
D.基體材料
9.多項選擇題光刻工藝流程包含以下哪些步驟？（）
A.前處理
B.勻膠及后烘
C.曝光
D.顯影及后檢
10.單項選擇題HMDS的作用是使表面（），增加硅片表面與光刻膠的粘附性能。
A.疏水
B.親水
最新試題
距離精度是指相關(guān)零件間的距離尺寸精度，如（）
題型：多項選擇題
深孔滾壓是利用金屬在常溫狀態(tài)時的（）特點進(jìn)行的一種壓力光整加工。
題型：單項選擇題
選擇套類零件毛坯時，不應(yīng)考慮（）。
題型：多項選擇題
曲軸的主軸頸和連桿軸頸的軸線（）。
題型：單項選擇題
軸類零件在精加工時，一般不會選擇（）為定位基準(zhǔn)。
題型：多項選擇題
精密主軸部件是超精密加工機床的（）基準(zhǔn)，也是保證機床加工精度的核心。
題型：單項選擇題
工藝尺寸鏈具有封閉性和關(guān)聯(lián)性，裝配尺寸鏈只有封閉性，沒有關(guān)聯(lián)性。
題型：判斷題
毛坯熱處理的目的是消除鍛造或軋制時毛坯中產(chǎn)生的內(nèi)應(yīng)力，細(xì)化晶粒，改善（）性能。
題型：單項選擇題
在臥式車床床頭箱的部件裝配中，應(yīng)選擇（）作為基準(zhǔn)件。
題型：單項選擇題
珩磨大頭孔、精鏜小頭孔屬于（）階段。
題型：單項選擇題