判斷題聚酰亞胺和負(fù)膠工藝既可以烘烤,又可以加HMDS。

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8.多項(xiàng)選擇題對準(zhǔn)與曝光關(guān)鍵工藝參數(shù)()。

A.對準(zhǔn)OVERLAY
B.分辨率
C.焦深或景深

9.多項(xiàng)選擇題光刻工藝中影響分辨率的因素有()。

A.顯影液
B.曝光方式
C.光刻膠本身
D.光源

10.多項(xiàng)選擇題對光刻膠的需求包括()。

A.高分辨率
B.高抗蝕性
C.好黏附性
D.更寬的工藝容差